نقش مقاومهای پلیمری درمیکرولیتوگرافی

نویسندگان

• سعید پورمهدیان
• فرامرز افشارطارمی

کلیدواژه‌ها

• میکرولیتوگرافی
• مقاوم پلیمری
• وضوح
• حساسیت
• تمایز جلوه

عنوان مقاله [English]

Polymer Resists in Microlithography

نویسنده [English]

• F.Afshar Taromi